Azot, chip ishlab chiqarishda keng tarqalgan gaz

Azot, chip ishlab chiqarishda umumiy gaz

• Azot, chip ishlab chiqarishda umumiy gaz
• Azot chip ishlab chiqarishda keng qo'llaniladi, shuning uchun uning ishlatilishi va qo'llanilishini bilish juda muhimdir.
• I. Azotning fizik xossalari: Kimyoviy belgisi: N2
• Molekulyar og'irligi: 28.01 (umuman 28 deb hisoblanadi)
• O'ziga xos tortishish: 0,967
• Qaynash nuqtasi: -195,8 daraja (umuman -196 daraja deb hisoblanadi)
• Tashqi ko'rinishi: rangsiz va hidsiz
• Yonuvchanlik: Yonuvchan emas-
• Xavfsizlik: Sof bo'g'uvchi va toksik bo'lmagan-, odatda hech qanday xavf tug'dirmaydi. Biroq, yuqori konsentratsiyalar kislorod etishmasligi tufayli asfiksiyaga olib kelishi mumkin. Oqishlardan ehtiyot bo'ling va etarli ventilyatsiyani ta'minlang.
• Reaktivlik: juda barqaror, deyarli reaktiv emas. Biroq, u nitridlarni hosil qilish uchun yuqori haroratlarda yoki yuqori haroratlarda va yuqori bosimlarda reaksiyaga kirishadi.
• Qo'llaniladigan materiallar: U-metallarga korroziy emas va barcha metallarda ishlatilishi mumkin. Biroq, azotni suyultirishda, past haroratlarda mo'rt bo'lmagan materiallarni tanlash kerak. Deyarli barcha materiallar qo'llaniladi, masalan, plastmassa, kauchuk va boshqalar.

 

II. Azotdan foydalanish

(1). Azot hosil qilish: Azotni havo ajratish uskunasi orqali olish mumkin. Zavod tomonidan talab qilinadigan tozalikka ko'ra ko'p miqdorda va arzon narxlarda osongina ishlab chiqarilishi va quvur liniyasi orqali etkazib berilishi mumkin.

(2). Azotdan foydalanish: tozalovchi azot yarimo'tkazgich qurilmalari ichida va tashqarisida iflosliklar va kirlarni tozalash uchun ishlatilishi mumkin. Tozalash qurilmani tezda tozalash va qurilmaning shikastlanishini kamaytirish uchun havo oqimining kuchli ta'siridan foydalanishi mumkin. Himoya Yarimo'tkazgichli qurilmalarni ishlab chiqarish va tashish jarayonida ulardagi materiallarni himoya qilish kerak. Azot inert gaz sifatida himoya rolini o'ynashi mumkin. Qadoqlash va tashish jarayonida azot oksidlanish va korroziya kabi salbiy ta'sirlarni oldini olish uchun qurilmani muhrlash uchun ishlatiladi. Quruq azot materiallarni quritish uchun ishlatilishi mumkin. Quritish jarayonida azot majburiy havo oqimi orqali sirt va ichki namlikni olib tashlaydi. U odatda mikroelektronika, optik asboblar va chang qoplamalarini ishlab chiqarishda qo'llaniladi.

 

Yarimo'tkazgichli qurilmalarni ishlab chiqarishda azot sirt oksidlanish jarayonlari uchun oksidlovchi sifatida ishlatilishi mumkin.

Azot, uning barqarorligi va mavjudligi tufayli, oksidlanish samaradorligini oshirish va kislorodning salbiy ta'siridan qochib, qurilma sirtining bir xilligini saqlab turishi mumkin.

 

Tozalash uskuna va gaz quvurlarini tozalash uchun ishlatiladi. Zaharli gazlardan foydalangan holda jihozlarga texnik xizmat ko'rsatishda kamerani keskin ochish o'rniga azotni tozalash amalga oshiriladi. Ish faqat xavfsizlik ta'minlangandan keyin amalga oshiriladi.

 

Gaz quvurlarini tozalash tartibi: haqiqiy gaz → azotni tozalash → atmosfera (texnik xizmat ko'rsatishdan keyin teskari tartib). Havo, kislorod yoki boshqa gazlar bilan ifloslanishning oldini olish uchun xavfsizlikni ta'minlash kerak. Suyultirishning ikkita maqsadi bor. Ulardan biri suyultirish oksidlanish jarayoni talab qilganidek, termal oksid plyonkasining oksidlanish tezligini nazorat qilishdir. Ikkinchisi, xavfsizlikni ta'minlash uchun uskunadan chiqindi gazlar kontsentratsiyasini kamaytirishdir. Misol uchun, SiH4 va vodorod qotishma chiqindisining suyultirilishi xavfsizlikni ta'minlash uchun egzoz konsentratsiyasini pastki portlash chegarasiga kamaytiradi. Asosiy gazlar odatda diffuziya pechlarida asosiy gazlar sifatida ishlatiladi. Asosiy gazlar, shuningdek, gaz ballonlarining konsentratsiyasini sozlash uchun ishlatiladi, masalan, SiH4 ni 20% azot bilan aralashtirish. Oqish tekshiruvlari, shuningdek, azot bosimini o'lchash uskunasidagi qochqinlarni quvurlar va C/C tizimlarini tekshirish uchun ham qo'llaniladi.

 

Xida isitish texnologiyasi: yarimo'tkazgichli chiqindi gazlarni tozalashning xavfsizlik muammosini hal qilish, ishlab chiqarishning uzluksizligini va uskunalar xavfsizligini ta'minlash

Yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish ko'p miqdorda chiqindi gazlarni hosil qiladi, ularning aksariyati havoga ta'sir qilganda korroziv, piroforik yoki potentsial portlovchi hisoblanadi. Odatda, bu gazlar chiqindi gazni qayta ishlashning dastlabki bosqichlarida konsentratsiyalar quyi portlash chegarasidan past bo'lishini ta'minlash yoki korroziy ta'sirni kamaytirish uchun azot (N₂) bilan suyultiriladi.
Biroq, sovutgichli azotni chiqindi gaz bilan aralashtirish kondensatsiyani tezlashtiradi va konlar to'planganda ular rejadan tashqari ishlamay qolishlariga olib kelishi mumkin. Azotni isitish yaxshiroq variant, lekin tizimga yangi azot qochqinlari kiritilmasa. Xida Heating Technology bunga erishadi, ya'ni yarimo'tkazgich ishlab chiqaruvchilari endi xavfsizlik muammolarini egzoz tizimining blokirovkalari tufayli yuzaga kelishi mumkin bo'lgan uzilishlar bilan muvozanatlashtirmaydi.

• Oqishning oldini olish portlash xavfini kamaytiradi.
• Kondensatsiyaning oldini olish tozalash uchun to'xtash vaqtini kamaytiradi.
• Isitish uskunasida korroziyaning oldini olish, uskunaning ishdan chiqishi xavfini kamaytirish.
• Jarayonni yangilash uzoq masofalarda quvur haroratining barqarorligini ta'minlash uchun isitiladigan gaz masofasini oshiradi.
• Umumiy quvvat sarfini kamaytirish va elektr energiyasini tejash maqsadida struktura yangilanadi.